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本实用新型提供了一种离子源及离子注入机，包括：第一外罩和阴极；所述阴极设置有凹槽，所述第一外罩的一端具有至少一个切口，所述切口的外形尺寸与所述凹槽的外形尺寸相适配；所述阴极的一端设置于所述第一外罩的内部，并通过所述凹槽和所述切口的卡合而与所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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