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本实用新型公开一种各区域冷却温度不同的衬底托盘，上托盘设有中心凹位、凹位中圈和凹位外圈；下托盘设有的中心凹槽、凹槽中圈和凹槽外圈的位置与上托盘上的中心凹位、凹位中圈和凹位外圈相对应；横截面为阶梯形的密封圈设置在中心凹槽、凹槽中圈和凹槽外圈中...
该专利属于徐州同鑫光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州同鑫光电科技有限公司授权不得商用。

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