下载一种TiN-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:16281271

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本发明公开了一种TiN?Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用。它是由磁控共溅射沉积得到的复合薄膜,溅射过程中溅射过程中保持一定的基底温度,获得的厚度在0.5um~1um之间。通过实验调节制备过程的基底负偏压,得到的TiN?Ag纳米复合涂层相比...
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