一种TiN-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种TiN?Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用。它是由磁控共溅射沉积得到的复合薄膜，溅射过程中溅射过程中保持一定的基底温度，获得的厚度在0.5um~1um之间。通过实验调节制备过程的基底负偏压，得到的TiN?Ag纳米复合涂层相比基底硬度提高明显，Ag元素均匀分布在TiN膜中，接触角明显低于没有掺杂Ag的TiN薄膜，亲水性好，并且细胞相容性得到提高，有望用于改善钛合金在生物医学上的应用。本发明专利技术所述的方法形成的材料结构稳定，方法可重复，制备条件可控。

【技术实现步骤摘要】
-种T i N-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用 本专利技术得到国家863计划资助项目（2015AA034702)的支持。
本专利技术是设及到被应用于种植牙和椎间融合器的铁合金上制备功能薄膜，应用于 生物医药领域，是通过磁控共瓣射的方法对铁合金表面进行改性和优化。更具体地说是一 种TiN-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用。
技术介绍
目前在生物医学材料领域，越多越多的生物材料被用于人造器官和器件，但材料 面临的主要问题是由于生理环境造成的腐蚀和植入材料自身性质的退化，进而可能会导致 对人体的副作用，材料也可能会失去功效。TiN薄膜因其氮化铁因化学性能稳定，优良的力 学性能和防护性能而被广泛研究和应用，并被用于植入体的涂层材料，可作为运些人工植 入的器件的保护性薄膜来提高其机械性。在医学领域，TiN薄膜主要应用于切削及旋转器械 种植体和义齿表面锻膜，W增强其耐磨损性及生物安全性，但随着对TiN材料生物应用研究 的不断深入，也逐渐暴露出材料本身抗菌性等缺陷，生物相容性受限而导致与机体间发生 感染或者排斥等反应。例如铁合金制椎间融合器植入人体后因可能出现的感染影响手术效 果，最本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1. 一种TiN-Ag纳米复合涂层，其特征在于它是由TiN化合物靶和Ag靶通过磁控共溅射 复合而成，得到的厚为1-1.5um的纳米复合涂层，其利用Bruker D8a型X射线衍射仪(XRD)对 样品进行物相及晶体结构分析，扫描范围10°~80°，高角2Θ角扫描范围是l〇deg80deg，扫 描步长为〇.〇ldeg，Ag功率较高时薄膜中同时出现TiN和Ag的衍射峰，即TiN(lll)、TiN (200)、Ag(lll)和Ag(200)，薄膜的表面较为粗糙，断面SEM图显示结构较为紧凑，XPS结果显 示Ag以单质的形态存在，Ti元素除了和N形成价键外，还有Ti-Ο键结合，结合能分别为 458. OeV和464.2eV，氧元素可能来源于薄膜表面氧元素杂质基团。2. 权利要求1所述TiN-Ag纳米复合涂层的制备方法，其特征在于同时派射TiN和Ag革巴 材，TiN靶使用射频电流电源，Ag靶使用脉冲直流电源，其中复合膜中Ag原子数和质量占比 分别为 21.37% 和 37.97%。3. 权利要求2所述的制备方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李德军，许双志，董磊，顾汉卿，万荣欣，
申请(专利权)人：天津师范大学，
类型：发明
国别省市：