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本发明实施例公开了一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统，包括：用于远程监控和数据记录查询的第一监控设备组、用于数据处理及参数配置的第二监控设备组、以太网交换机、用于控制工艺操作的第一控制设备组和用于执行工艺操作的第二控制设备组；所述第一监...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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