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一种紫外LED倒装芯片制造技术
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下载一种紫外LED倒装芯片的技术资料
文档序号:16272272
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本发明公开了一种紫外LED倒装芯片,包括从下往上依次设置的基板、布线层和芯片外延层;本发明通过刻蚀工艺将芯片外延层的一部分去除,形成用于设置n电极的n型半导体区域,并在芯片外延层内分别设有贯穿n型AlGaN层的第一内部接触层和贯穿n型AlG...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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