下载一种横向高压器件的技术资料

文档序号:16271853

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本发明提供一种横向高压器件,包括介质槽区域,介质槽区域包括下部分的介质槽区和上部分的低K介质槽,还包括介质层、体场板、多晶硅栅、栅下氧化层、介质层、漏极接触电极、第一N型重掺杂区、第二N型重掺杂区、源极金属、P型重掺杂区,P阱区,介质槽区域...
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