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文档序号:16271738

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半导体装置。一种半导体装置,包括:基板,其包括:第一基板侧面、与所述第一基板侧面相反的第二基板侧面、以及多个延伸在所述第一基板侧面与所述第二基板侧面之间的周边基板侧面;中央图案,其在所述第一基板侧面被露出;多个导电贯孔,其连接至所述中央图案...
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