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本发明涉及一种离子注入量调节装置,包括:调节件,用于开启和关闭离子注入设备的离子出口;驱动结构,用于控制所述调节件运动以调节离子出口的开口度。本发明的有益效果是:可以灵活调节离子注入量。本发明还涉及一种离子注入设备、离子注入量调节方法、判断...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司授权不得商用。