下载金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:16271502

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本发明公开了一种金属氮氧化物透明导电薄膜的制备方法,步骤:1)选择至少一种原材料添加到去离子水中形成溶液;2)取一基板清洗;3)将基板放置喷涂作业空间内的热板上;4)将溶液倒进高压喷雾系统的材料室;5)在喷涂作业空间内充满一个大气压的氮气;...
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