下载抗蚀剂剥离液组合物及利用其的抗蚀剂的剥离方法的技术资料

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本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物及利用其的抗蚀剂的剥离方法,根据本发明的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于,包含:下述化学式1所表示的化合物、非质子有机化合物、伯醇类化合物和有机碱化合物。下述化学式1中,R为碳原子数4~12的烃基。化学式1...
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