下载一种基于层状钴氧化物的低温测温元件的技术资料

文档序号:16268246

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本发明公开一种基于层状钴氧化物的低温测温元件,包括单晶基底、薄膜热敏元件、金属电极Ⅰ、金属电极Ⅱ、金属电极Ⅲ、金属电极Ⅳ、导线Ⅰ、导线Ⅱ,薄膜热敏元件在单晶基底上沿c轴外延生长,在薄膜热敏元件上表面依次设置有等距排列的金属电极Ⅰ、金属电极Ⅱ...
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