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基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法技术
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文档序号:16267487
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一种基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法,通过两条平行单缝,一条为定标狭缝(缝宽已知),另一条为测量狭缝(缝宽可变),两条单缝分别衍射,两条狭缝得到的不同衍射图像会由凸透镜汇聚到透镜的焦平面上,然后由CCD器件进行采集。图像传输到软...
该专利属于济南大学所有,仅供学习研究参考,未经过济南大学授权不得商用。
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