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可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉制造技术
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下载可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉的技术资料
文档序号:16262512
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本发明公开了一种可实现残余热应力消除处理的太阳能电池用硅片扩散炉,其包括有炉体,炉体之中设置有经由其外部导通至内部的进气管道与排气管道,排气管道之上设置有抽风机;所述炉体内部设置有用于安置硅片的石英舟;所述炉体之中包括有安置端面,安置端面之...
该专利属于徐州中辉光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州中辉光伏科技有限公司授权不得商用。
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