下载温度补偿型压力传感器的技术资料

文档序号:16259500

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本实用新型公开了温度补偿型压力传感器,包括传感器本体和温度补偿单元,传感器本体包括壳体、硅环和引线,硅环将壳体内部分为低压腔和高压腔,硅环顶部覆盖有硅膜片,硅膜片的上表面和下表面均粘接有硅酸铝薄片,硅膜片上设置有硅应变计,硅膜片和硅应变计之...
该专利属于江苏星峰光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏星峰光电科技有限公司授权不得商用。

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