下载一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:16258822

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本发明涉及一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法,所述薄膜由以下方法制备得到:采用磁控溅射的方法预先在基片表面沉积一层五氧化二钒,然后在其上沉积金属钨层,最后在钨层上沉积一层五氧化二钒,形成五氧化二钒/金属钨/五氧化二钒混合薄膜,再采用...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。

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