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本发明提供一种用于检查衬底的静电的装置及制造衬底的方法。该装置包括探针、布线和测量单元，该探针具有与需检查的衬底基本相同形状并且包括由传导性材料制成的接触表面，该布线连接至该探针的接触表面并且输送由该探针收集的静电，该测量单元连接至该布线、...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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