下载具有负截面金属结构的SAW谐振器及其制造方法的技术资料

文档序号:16235764

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本发明公开弹性表面波谐振器。根据本发明的弹性表面波谐振器,包括:压电基板;形成于所述压电基板上部面的具有负截面的多个金属结构物;及包裹所述压电基板上部面和所述多个金属结构物的温度补偿薄膜。根据本发明的弹性表面波谐振器具有对截面的变化迟钝的频...
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