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元件芯片的制造方法技术
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文档序号:16234577
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提供一种元件芯片的制造方法,抑制拾取时元件芯片的破裂。元件芯片的制造方法包括载置工序和等离子体切割工序。载置工序,将具备第1主面以及第2主面、并且具备多个元件区域以及划定元件区域的分割区域、并且形成了在元件区域中覆盖第1主面在分割区域中使第...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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