下载元件芯片及其制造方法的技术资料

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一种元件芯片及其制造方法。元件芯片的制造方法包括激光划片工序,对具备第1层和第2层的基板的分割区域从第2层侧照射激光,从而在分割区域形成具备露出第1层的露出部的开口,并且在包含露出部的第1层的表层部形成第1损伤区域,在第1损伤区域的附近且被...
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