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元件芯片的制造方法技术
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文档序号:16234504
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一种元件芯片的制造方法。元件芯片的制造方法包括准备基板的工序,基板具备第1主面及第2主面,并且具备作为半导体层的第1层和包含绝缘膜的第2层。包括激光划片工序,对分割区域从第1主面侧照射激光从而形成具备露出第1层的露出部的开口,在露出部以外的...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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