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本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、液晶显示面板,该阵列基板的制作方法包括:在基板上制作第一金属层;采用第一张光罩对第一金属层进行刻蚀工艺以形成栅极;在第一金属层上依次制作栅极绝缘层、有源层和第二金属层;采用第二张光罩对第二金属层和有源层...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、液晶显示面板,该阵列基板的制作方法包括:在基板上制作第一金属层;采用第一张光罩对第一金属层进行刻蚀工艺以形成栅极;在第一金属层上依次制作栅极绝缘层、有源层和第二金属层;采用第二张光罩对第二金属层和有源层...