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有机材料蒸镀用掩膜板制造技术
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下载有机材料蒸镀用掩膜板的技术资料
文档序号:16229200
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本申请公开了一种有机材料蒸镀用掩膜板。该掩膜板包括框架和固定于框架上的至少一个掩膜;框架形成一封闭的开口,每一掩膜至少覆盖部分开口,并与框架焊接固定;框架为中空结构,框架的中空结构中设置有加热装置,用于提高框架的温度。该实施方式可以在清洗掩...
该专利属于武汉天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉天马微电子有限公司授权不得商用。
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