有机材料蒸镀用掩膜板制造技术
Mask plate for evaporation of organic material
The invention discloses a mask plate for evaporation of organic materials. The mask plate comprises a frame which is fixed on the frame and at least one mask; frame form a closed opening, a mask to cover at least partially open, and welded and fixed with frame; frame is a hollow structure, a heating device is arranged in the hollow structure of the frame, the frame is used to improve the temperature. The method can improve the temperature of the frame by using a heating device when the mask plate is cleaned, thereby accelerating the dissolution of various organic materials adhered to the mask plate and improving the cleaning effect.
【技术实现步骤摘要】
有机材料蒸镀用掩膜板
本申请涉及显示
，具体涉及有机材料蒸镀用掩膜板。
技术介绍
目前，现有的OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示面板中，通常采用真空蒸镀工艺来形成各功能层。在蒸镀过程中，一般需要使用掩膜板。掩膜板的作用是通过开孔区将材料蒸镀至相应的位置，以形成对应的功能层。具体地，如图1所示，坩埚11内添置有待蒸镀的OLED材料。在真空度小于10-5Pa的环境下，坩埚11缓慢升温。当温度达到OLED材料的升华温度以后，OLED材料慢慢变成气态升华上来，如图1中所示的气态OLED材料12。气态OLED材料12穿过掩膜板13的开孔。气态分子在基板14的表面沉积，并降温凝结成固态分子。OLED材料分子在基板14上不断堆积，最终慢慢形成相应功能的薄膜层。然而，现有的掩膜板一般是将掩膜焊接在金属框架上。金属框架往往为实心结构。在蒸镀过程中，OLED材料会附着在掩膜板上。为了避免这些附着的材料成为后续蒸镀时的异物，也避免影响蒸镀精度，因此需要对掩膜板进行清洗。但是这些附着材料很难清洗干净，尤其是焊接区域的缝隙中附着的材料。...
【技术保护点】
一种有机材料蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括框架和固定于所述框架上的至少一个掩膜；所述框架形成一封闭的开口，每一所述掩膜至少覆盖部分所述开口，并与所述框架焊接固定；所述框架为中空结构，所述框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高所述框架的温度。
【技术特征摘要】
1.一种有机材料蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括框架和固定于所述框架上的至少一个掩膜；所述框架形成一封闭的开口，每一所述掩膜至少覆盖部分所述开口，并与所述框架焊接固定；所述框架为中空结构，所述框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高所述框架的温度。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述框架为整体式结构。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述框架为组合式结构。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述框架包括上半部和下半部，所述上半部中朝向所述下半部的表面形成有第一凹槽，所述下半部中朝向所述上半部的表面形成有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽相配合形成所述中空结构。5.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述框架包括上半部和下半部，所述上半部中朝向所述下半部的表面形成有凹槽，所述下半部中朝向所述上半部的表面形成有凸块，所述凹槽和所述凸块相配合形成所述中空结构。6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述框架的内表面和外表面的横截面...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨育青，
申请(专利权)人：武汉天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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