下载一种提升酸性蚀刻均匀性的方法的技术资料

文档序号:16220195

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本发明公开了一种提升酸性蚀刻均匀性的方法,在芯板制作内层线路及在生产板制作外层线路过程中,用酸性蚀刻液对芯板和生产板进行蚀刻前,先进行补偿蚀刻的步骤,所述补偿蚀刻是用酸性蚀刻子液对芯板和生产板进行喷淋蚀刻,所述补偿蚀刻的上喷和下喷压力均为1...
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