下载一种全自动的蚀刻装置及其控制方法的技术资料

文档序号:16220191

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本发明公开了一种全自动的蚀刻装置,属于蚀刻装置领域,全自动的蚀刻装置包括蚀刻箱,蚀刻箱的顶部设置有喷淋机构,喷淋机构包括第一摆动气缸,第一摆动气缸的输出轴上固定有喷淋仓,喷淋机构下方设置有两条导轨,两条导轨之间设置有机械手,机械手包括基座、...
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