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感光性树脂前体组合物，其特征在于含有（ａ）耐热性树脂前体聚合物，（ｂ）辐射敏感性化合物，（ｃ）用通式（１）表示的溶剂， ＊＊＊ （１） （式中Ｒ↑［１］表示Ｃ↓［１］－Ｃ↓［３］的烷基，Ｒ↑［２］、Ｒ↑［３］、Ｒ↑［４］、Ｒ↑...
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