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研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫制造技术
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文档序号:1621849
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一种研磨垫用组合物,含有非水溶性基质和分散于该非水溶性基质中的水溶性粒子,其特征在于上述非水溶性基质含有交联乙烯-醋酸乙烯共聚物,并且不含有交联1,2-聚丁二烯,当上述非水溶性基质全体为100质量%时,上述交联乙烯-醋酸乙烯共聚物的含有比例...
该专利属于JSR株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JSR株式会社授权不得商用。
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