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本发明涉及LED芯片工艺领域,公开了一种倒装高压LED芯片的制备方法,包括在外延层上进行刻蚀形成隔离沟槽和N电极沟槽以形成Mesa平台,在Mesa平台上生长欧姆接触层并在其上形成反射层,深刻蚀隔离沟槽形成隔离道,形成第一隔离层并在其上形成第...该专利属于淮安澳洋顺昌光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过淮安澳洋顺昌光电技术有限公司授权不得商用。
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