下载一种复合结构的GaN/CdZnTe薄膜紫外光探测器的制备方法的技术资料

文档序号:16218317

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本发明公开了一种复合结构的GaN/CdZnTe薄膜紫外光探测器的制备方法,其步骤为:(1)将商用CdZnTe多晶体研磨成粉末作为升华源;(2)镀有氮化镓(GaN)的单晶硅片作为衬底,再用氮气吹干,放入近空间升华反应室内;(3 将升华室内气压...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。

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