下载一种阵列基板及其制备方法、显示装置的技术资料

文档序号:16218217

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本发明提供了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,可在一次构图工艺下形成多晶硅材料的有源层和由金属材料构成的存储电容的一个电极。该制备方法包括在基板上形成半导体材料薄膜的步骤;形成覆盖所述半导体材料薄膜的金属薄膜;对所述金属...
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