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本发明提出一种阵列基板及其制作方法，包括：衬底基板、位于衬底基板一侧的薄膜晶体管层、平坦化层以及第三金属层，薄膜晶体管层包括依次设置的栅极金属层、第一绝缘层、有源层和源漏极金属层，栅极金属层和源漏极金属层设置在平坦化层靠近衬底基板的一侧，第...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。

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