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半导体器件、显示装置和上述装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:16218211
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本发明提供一种显示优良的电特性的半导体器件和该半导体器件的制造方法。另外,提供具有该半导体器件的显示装置和该显示装置的制造方法。该半导体器件包括:具有氧化物半导体膜的第1晶体管、和包括第1晶体管上的层间膜、和位于层间膜上、含硅的半导体膜的第...
该专利属于株式会社日本显示器所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本显示器授权不得商用。
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