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本发明公开一种芯片绑定机自动更换晶圆盒装置，包括基座、位于所述基座上的晶圆工作平台和晶圆搬送装置，所述晶圆搬送装置包括导轨，和位于所述导轨上的搬送臂，所述搬送臂末端位于所述晶圆工作平台上方。本发明公开的芯片绑定机自动更换晶圆盒装置，使芯片绑...
该专利属于大连佳峰自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连佳峰自动化股份有限公司授权不得商用。

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