下载纳米线栅结构的制作方法的技术资料

文档序号:16218139

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本发明提供一种纳米线栅结构的制作方法,该方法先通过压印模具在热塑性基板上热压出交替的多个凹槽和多个凸起,再将金属薄膜制作在所述多个凹槽和多个凸起上,接着利用金属粘结胶材将所述凸起上的金属薄膜转移到线栅载体基板上,最后剥离热塑性基板,制得纳米...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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