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本申请一种干蚀刻设备及干蚀刻设备的电极，所述干蚀刻设备的电极，包括：电极板，表面包括组件放置区及环绕所述组件放置区的边缘区；阻挡环，设置在所述边缘区，位于所述组件放置区的外围；以及隔板，设置在所述电极板外侧，邻接所述阻挡环的外围，所述隔板具...该专利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司授权不得商用。