下载纳米线栅偏光片的制作方法的技术资料

文档序号:16215327

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本发明公开了一种纳米线栅偏光片的制作方法,包括以下步骤:S1、在衬底上依次叠层制作第一线栅材料层、第二线栅材料层和第三线栅材料层;S2、在第三线栅材料层上制作纳米光阻阵列;S3、采用干刻蚀法刻蚀未被纳米光阻阵列遮挡的第三线栅材料层;S4、采...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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