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本发明属于精密位移测量与控制领域，涉及了一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置。一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机。控制主机发出第一电压信号，使光路放大装...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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