一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于精密位移测量与控制领域，涉及了一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置。一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机。控制主机发出第一电压信号，使光路放大装置中的动镜与定镜之间的相对位置发生变化，利用光路放大装置将微小位移转化为数倍于它的光程，使迈克尔逊干涉装置测量精度达到纳米级。

Piezoelectric ceramic micro displacement optical interference detecting and controlling device

The invention belongs to the field of precise displacement measurement and control, and relates to a piezoelectric ceramic micro displacement optical interference detection and control device. The utility model relates to a piezoelectric ceramic micro displacement optical interference detection and control device, which comprises a semiconductor frequency stabilizing laser, a splitting cube, an optical path amplifying device, a photoelectric conversion device, a data acquisition module and a control mainframe. The control host sends a first voltage signal, the optical amplification device in the relative position between the mirror and the fixed mirror changes, micro displacement amplification device will translate into several times in its path by using light path, the Michelson interferometer measurement accuracy of nanometer.

【技术实现步骤摘要】
一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置
本专利技术属于精密位移测量与控制领域，涉及了一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置。技术背景纳米技术是在20世纪80年代末发展起来的高新科学技术。压电陶瓷作为纳米技术中常见的纳米级驱动器件，因其小体积、低功耗、高灵敏度等优点，而被广泛应用于微机械、纳米光学、精密仪器制造以及微电子技术等高精尖领域。由于压电陶瓷具有很高的灵敏度，形变量可达纳米级，故而作为致动器被普遍应用于精密激光领域中激光腔或干涉仪的腔长调节。由于压电陶瓷微位移量在纳米到微米量级，必须使用纳米级的高精度位移测量仪进行检测。常用的微位移检测设备主要有电容测微仪、电感测微仪、激光干涉仪等。电感测微仪和电容测微仪测量速度快、精度高，但容易引入外界干扰，处理电路复杂，且价格昂贵。激光干涉测量技术具有非接触测量、分辨率高等特点，且其抗干扰能力尤为突出，从而得到广泛应用。迈克尔逊干涉仪是一种应用非常广泛的激光干涉测量设备，但由于光学原理限制，测量精度只能达到二分之一测试波长。通过对迈克尔逊干涉法的进一步改进，引入干涉条纹细分、电子倍频等技术，可使测量精度达到十分之一测试波长。但仍达不到压电陶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，其特征在于：包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机；光路放大装置包括背部粘贴有压电陶瓷的动镜、安装在旋转台上的定镜、参考镜，旋转台用于改变定镜和动镜间的夹角；光电转换装置包括光电二极管以及相应的放大电路、滤波电路，用于将干涉条纹的明暗变化转换为第二电压信号的变化；数据采集模块为基于FPGA的数据采集系统，对光电转换装置得到的第二电压信号进行采样，通过采样第二电压数据的变化幅度反映干涉条纹移动数目，并将其反馈给控制主机。

【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，其特征在于：包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机；光路放大装置包括背部粘贴有压电陶瓷的动镜、安装在旋转台上的定镜、参考镜，旋转台用于改变定镜和动镜间的夹角；光电转换装置包括光电二极管以及相应的放大电路、滤波电路，用于将干涉条纹的明暗变化转换为第二电压信号的变化；数据采集模块为基于FPGA的数据采集系统，对光电转换装置得到的第二电压信号进行采样，通过采样第二电压数据的变化幅度反映干涉条纹移动数目，并将其反馈给控制主机。2.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，其特征在于：控制主机控制旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓丹，杨晨瑞，张明达，齐艳强，杨毅彪，陈智辉，
申请(专利权)人：太原理工大学，
类型：发明
国别省市：山西,14