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多晶硅片生产工艺制造技术
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文档序号:16209276
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本发明涉及多晶硅片生产工艺技术领域,特别是一种多晶硅片生产工艺,包括以下步骤,(1)选料,选择纯度好的工业硅;(2)硅锭凝固,将选好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭;(3)去除杂质,去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分;(4)硅锭二次凝...
该专利属于张兆民所有,仅供学习研究参考,未经过张兆民授权不得商用。
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