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本实用新型涉及对应硅片精密对准倒片装置的腐蚀笼，腐蚀笼本体的中心处设有旋转轴，两端设有固定活动花杆，固定花杆和配合花杆的挡板；活动花杆在挡板处设有活动槽，活动槽为圆弧状，轴心为腐蚀笼本体的回转中心；活动花杆和固定花杆分别设有对应的卡槽。活动...
该专利属于上海申和热磁电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申和热磁电子有限公司授权不得商用。

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