温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

描述用于处理在基板表面上的膜的系统和方法。所述系统具有气溶胶发生器，所述气溶胶发生器从一或多种前驱物的冷凝物质(液体或固体)来形成液滴。载气流过所述冷凝物质，并将液滴推向放在基板处理区域中的基板。与气溶胶发生器连接的直列泵也可以用于将液滴推...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。