下载集成电路的外观检测装置的技术资料

文档序号:16194130

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本实用新型公开一种集成电路的外观检测装置用以检测一料盘的多个集成电路,且包括一直线移动系统、一取料及旋转装置、及一拍摄系统。取料及旋转系统连接直线移动系统,且吸取料盘上至少两个集成电路。其中,直线移动系统带动取料及旋转系统做直线移动,被吸取...
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