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本发明公开了一种太阳能电池减反射膜的制备方法，包括：在扩散后的晶体硅片的受光面上采用PECVD一次沉积折射率渐变的SiNx减反射膜。本发明的技术方案工艺简单，对晶体硅片的损伤小，有利于提高电池的转换效率和开路电压，也有利于改善镀膜过程中膜层...
该专利属于国家电投集团西安太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国家电投集团西安太阳能电力有限公司授权不得商用。

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