温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种单晶硅片研磨砂轮，属于研磨设备技术领域，包括一砂轮本体，砂轮本体的中心设有一内孔，砂轮本体的边缘处为斜面，斜面与砂轮本体表面的角度为44°‑46°。本实用新型单晶硅片研磨砂轮，结构简单，设计合理，使用方便，不受单晶硅片厚...
该专利属于天津众晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津众晶半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。