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提供一种在波长２２０ｎｍ以下的透明性优良，且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、ＬＥＲ、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式（１）表示。［Ｒ↑［１］表...
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