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本发明提供一种热处理装置。能够长期地使用炉心管，该炉心管使用于多孔质玻璃母材的热处理装置。热处理装置具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用加热器对加热区域...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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