热处理装置制造方法及图纸
Heat treatment equipment
The present invention provides a heat treatment device. The furnace core tube can be used for a long time, and the furnace core tube is used for the heat treatment device of porous glass base material. The heat treatment device includes: a silicon glass furnace tube; the heater and furnace tube is arranged adjacent to the heating area for heating; and the movement mechanism, the supporting porous glass base material, and in the heating area of the heating state by the heater, inside the furnace tube. Porous glass base material relative to the heater relatively moving through the heating area in the furnace tube and in the heating area is located in the adjacent area has a glass wall thickness than the wall thickness in the thin part of the part of the heating area of the glass.
【技术实现步骤摘要】
热处理装置
本专利技术涉及用于对光纤用多孔质玻璃母材进行热处理来制造光纤母材的热处理装置，特别是涉及在该热处理装置中使用的炉心管。
技术介绍
作为光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，存在称为VAD法、OVD法的方法。在这些方法中，首先，在火焰中使玻璃原料燃烧而生成玻璃细颗粒，使该玻璃细颗粒沿着旋转的靶棒的轴向或者径向附着于该靶棒来制造多孔质玻璃母材。作为用于使多孔质玻璃母材玻璃化的热处理装置，使用如图1所示那样的热处理装置1。热处理装置1由加热器2、覆盖该加热器2的炉体3和设置于加热器内侧的硅玻璃制的炉心管4构成。同样的装置记载于例如专利文献1等。炉心管4的上端被开设有贯通孔的上盖5堵塞，安装有穿过贯通孔且支承多孔质玻璃母材10的支承棒6。在炉心管的下部设置有用于供给氦(He)气、氯(Cl2)气这样的工艺气体的气体导入口7。在上盖设置有用于排出气体的气体排出口8。炉心管4若反复进行多孔质玻璃母材10的热处理，则被在热处理时导入的工艺气体蚀刻，玻璃的厚度变薄，在炉心管4产生裂纹。与此相对，通过增厚炉心管4的玻璃的厚度，能够谋求炉心管4的长寿命化。另外，炉心管4中的位于加...
【技术保护点】
一种热处理装置，其具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与所述炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用所述加热器对所述加热区域进行了加热的状态下，在所述炉心管的内部使所述多孔质玻璃母材相对于所述加热器相对地移动而穿过所述加热区域，其特征在于，在所述炉心管中的、与位于所述加热区域的部分相邻的区域具有玻璃的壁厚比位于所述加热区域的部分的玻璃的壁厚薄的薄壁部。
【技术特征摘要】
2016.03.03 JP 2016-0415381.一种热处理装置，其具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与所述炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用所述加热器对所述加热区域进行了加热的状态下，在所述炉心管的内部使所述多孔质玻璃母材相对于所述加热器相对地移动而穿过所述加热区域，其特征在于，在所述炉心管中的、与位于所述加热区域的部分相邻的区域具有玻璃的壁厚比位于所述加热区域的部分的玻璃的壁厚薄的薄壁部。2.根据权利要求1所述的热...
【专利技术属性】
技术研发人员：内田一也，越谷隆，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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