下载一种低介电常数纳米多孔聚酰亚胺薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:1618136

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本发明涉及一种低介电常数纳米多孔聚酰亚胺薄膜的制备方法。采用溶胶-凝胶法制备聚酰亚胺/纳米二氧化硅复合薄膜,将复合薄膜浸泡在刻蚀液中,然后经洗涤和干燥,制备聚酰亚胺的纳米发泡薄膜。本发明的方法具有工艺过程简单、成本低、强度高、耐热性好等特点...
该专利属于北京化工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京化工大学授权不得商用。

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