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本发明涉及可去除在激光剥离工序中所产生的灰尘的激光剥离装置，上述激光剥离装置包括：工作台，提供用于装载上述基板的场所，以能够对上述基板执行激光剥离；激光照射器，位于上述工作台的上侧，用于向装载于上述工作台的上述基板的一部分照射激光；以及吸入...
该专利属于AP系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。

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